에이펫(주)기업정보

300mm 차세대 VFD (Vacuum Function Dryer) 개발 & Demo

대형 아세톤 세정기 개발 진행 (12톤 Bath)

Novellus RPC Module 유럽 판매 독점 계약체결

300mm 차세대 공정대응 LFD(Leaing Free Dryer) 개발

정보통신진흥기금 응용기술 개발지원사업(HT)- 개발완료(우수판정)

Dryer 400호기 판매 달성

Hybrid Nextation HT On going Customer Wafer Demonstration

정보통신진흥기금 응용기술 개발지원사업 선정 (HT)

2007년 중소기업청 기술혁신개발사업(일반과제) 완료-초소형 HDD용 세정건조장비

산학연 공동기술개발 컨소시엄 완료-(300mm hybrid FRD 반도체장비)

본사 이전 : 경기도 화성시 석우동

2007년 중소기업청 기술혁신개발사업(일반과제) 선정-초소형 HDD용 세정건조장비

산학연 공동기술개발 컨소시엄 진행-(300mm hybrid FRD 반도체장비)

중소기업청 기술혁신개발사업 'New Dryer 개발' 완료

-'Chemical공정을 배제한 친환경 Wafer세정건조장치' 개발완료

2007년중소기업청 기술혁신개발사업(일반과제)-

Dryer 300호기 판매 달성

우리사주조합 설립 및 조합원 배당 실시

기보캐피탈, 바이넥스트 투자유치

(US) ASM 300mm Dryer 초도 장비 납품

(US) Micron 300mm Dryer 초도 장비 납품

2006-1차 중소기업청 기술혁신개발사업 선정(New Dryer 개발)

Dryer 200호기 판매 달성

Hynix 300mm RD 공급 계약 체결 (KC-Tech JDP)

EoN* (Single-Spin Processor) 2호기 공동 개발 계약 체결 (하이닉스)

Dryer 100호기 판매 달성

Niching Industry Corp 투자유치 완료

EoN* (Single-Spin Processor) 1호기 납품 (하이닉스)

제2사업장 설치 (경기 용인 기흥 보라리 473-4 윤민테크노타운 1층 102호)

M-Center 확장 및 이전

Manufacturing Center 설립(경기 용인시 기흥읍)

동양창투 투자유치(5억원/6배수)

하이닉스 및 Kaijo와 'Single-Spin Processor 공동 개발 계약' 체결

본사 이전 : 경기도 성남시 분당구 구미동226-1 건우프라자301호

Kaijo(Japan)와 Wet Station 'APET Europe Sales 전담 계약' 체결

Kaijo(Japan)와 Dryer 납품 계약 체결

외국법인투자유치

동양창투 투자유치

NEO-2000 싱가폴 초도물량 수출

본사 이전 : 경기도 성남시 분당구 구미동 185-5

PRIMA와 싱가폴, 중국, 말레이시아 Sales Agency 계약 체결

Niching과 대만, 중국 Sales Agency 계약 체결

NEO-2000Cleaner납품(하이닉스초도장비)

창투사 투자 유치(일진창투,동원창투,튜브인베스트먼트)

Intelink(Japan), Alink(USA)와 해외 Sales Agency 계약 체결

'SEMICON Taiwan 2001' 참가 - NEO-2000 Gen.2.0(RD Type) Cleaner

Neo-3000 Gen. 2.0 (RD Type) 납품 [KCTech - 삼성전자 관계사]

USA & Taiwan 대표부 설립

상호 변경 : 에이펫(주)

에이팻(주) 설립